CAS Tetrafluoride tal-Karbonju 75-73-0

CAS Tetrafluoride tal-Karbonju 75-73-0

Tetrafluworidu tal-karbonju huwa l-aktar użat tal-gass tal-inċiżjoni tal-plażma tal-plażma fl-industrija tal-mikroelettronika . Huwa taħlita ta 'gass ta' purità għolja u gass ta 'tetrafluworidu tal-karbonju b'purità għolja b'ossiġnu ta' purità għolja .
Ibgħat l-inkjesta
Deskrizzjoni
Parametri tekniċi

CAS Tetrafluoride tal-Karbonju 75-73-0

Isem tal-Prodott: Tetrafluworidu tal-karbonju tal-karbonju tetrafluworidu tal-gass tetrafluorometan perfluorokarbon

Grad tal-Prodott: Grad Analitiku

Purità tal-Prodott: 99.999%

Speċifikazzjoni tal-imballaġġ: 40L

Isem Ċiniż: Tetrafluworidu tal-karbonju

Alias ​​Ċiniż: Tetrafluoromethane

CAS: 75-73-0

Einecs: 200-896-5

Formula Molekulari: CF4

Piż molekulari: 88

Propjetajiet fiżiċi u kimiċi: - punt ta 'tidwib: -184 grad

Tetrafluworidu tal-karbonju huwa l-aktar użat tal-gass tal-inċiżjoni tal-plażma tal-plażma fl-industrija tal-mikroelettronika . Huwa taħlita ta 'gass ta' purità għolja u gass ta 'tetrafluworidu tal-karbonju b'purità għolja b'ossiġnu ta' purità għolja .

1. Jista 'jintuża ħafna fl-inċiżjoni tax-xemgħa tas-silikon, dijossidu tas-silikon, nitride tas-silikon, ħġieġ tas-silikon tal-fosfru u materjali tal-film irqiq tat-tungstenu . għal sistemi ta' dijossidu tas-silikon u tas-silikon, meta tuża CF 4- H2 Reative Ion Etching, Gassijiet, selettività ta '45: 1 tista 'tinkiseb, li huwa utli ħafna meta inċiżjoni films tad-dijossidu tas-silikon fuq Polysilicon Gates .

2. Huwa wkoll użat ħafna fit-tindif tal-wiċċ tal-apparat elettroniku, produzzjoni taċ-ċelloli solari, teknoloġija tal-lejżer, insulazzjoni tal-fażi tal-gass, refriġerazzjoni ta 'temperatura baxxa,

Aġent ta 'skoperta ta' tnixxija, kontroll ta 'l-attitudni ta' l-ispazju ta 'rokit, u aġent ta' dekontaminazzjoni fil-produzzjoni ta 'ċirkwit stampat .

3. Minħabba l-istabbiltà kimika estremament qawwija tiegħu, CF4 jista 'jintuża wkoll fl-industriji tat-tidwib tal-metall u tal-plastik .

4. Tetrafluoride tal-karbonju għandu solubilità tajba ta 'ossiġnu, u għalhekk jintuża minn xjenzati biex jissostitwixxu l-arja kkompressata ordinarja fl-esperimenti ta' l-għadis ultra-deep . Intuża b'suċċess fuq il-ġrieden, u l-ġrieden jistgħu xorta jaħarbu b'mod sigur f'fond ta '275 sa 366 metri .}

It-tags Popolari: Carbon Tetrafluoride CAS 75-73-0, China Carbon Tetrafluoride CAS 75-73-0 Manifatturi, Fornituri, Fabbrika