CF4

Tetrafluworidu CF4 tal-karbonju huwa sors ta 'fluworin u fluworidu tal-karbonju radikali ħieles, użat f'diversi proċessi ta' inċiżjoni tal-wejfer . karbonju tetrafluoride CF4 huwa kkombinat ma 'ossiġenu sa l-inċiżjoni polysilicon, dijossidu tas-silicon u nitride tas-silikon . kundizzjonijiet normali u jistgħu jikkawżaw soffokazzjoni f'żoni mhux ventilati . f'ambjent ta 'frekwenza tar-radju, radikali ħielsa mill-fluworin jidhru fil-forma ta' trifluworidu tal-karbonju tipiku jew difluworidu tal-karbonju . karbonju ta 'purità għolja tetrafluurde jista' jikkontrolla sew il-proċess ta 'pproċessar, sabiex id-daqs u l-forma Halokarboni li ma jwasslux għal kontrolli speċjali varji (bħal kontroll tal-anisotropy semikondutturi) meta jiltaqgħu ma 'arja jew ossiġnu . il-gass ta' purità għolja tiegħu u t-taħlita ta 'gass tat-tetrafluworidu ta' purità għolja u ossiġenu ta 'katjoni ta' purità għolja jistgħu jintużaw b'mod wiesa 'fl-etching tas-siliċon, siliċon Ħġieġ tas-silikon tal-fosfru u materjali tal-film irqiq tat-tungstenu .

Il-karbonju tetrafluoride CF4 għandu effett anestetiku f'konċentrazzjonijiet għoljin L-istabbiltà kimika u termali, hija inerta għal ħafna reaġenti, u ma idrolizzax f'1000 grad . ma tirreaġixxix bir-ram, in-nikil, u t-tungstenu fit-temperatura tal-kamra {. minħabba l-istabbiltà kimika estremament qawwija tal-bond CF, perfluorokarboni rrappreżentati minn CF4 jistgħu jiġu meqjusa bħala mhux tossiku.

Tetrafluoromethane (cf4) għandu stabbiltà għolja u huwa gass kompletament mhux fjammabbli . ma jirreaġixxix bl-aċidi, alkali, u ossidanti f'temperatura tal-kamra, ma jirreaġixxix ma 'metalli ta' transizzjoni bħal Cu, Ni, W, u mo taħt 900 grad, u ma jirreaġixxi tirreaġixxi ma 'reaġenti tal-metall likwidu ta' ammonja-sodju f'temperatura tal-kamra, u CF4 jista 'jirreaġi Polimerizza CF4 f'temperaturi tal-ark tal-karbonju biex sintetizza fluworokarboni oħra .